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MEMS 历史版本
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微机电系统(MEMS)也称微电子机械系统、微系统、微机械。
中文全称
微机电系统
英文全称
Micro Electromechanical System
简称
MEMS

MEMS是指尺寸在几毫米乃至更小的高科技装置,其内部结构一般在微米甚至纳米量级,是一个独立的智能系统。主要由传感器、动作器(执行器)和微能源三大部分组成。


MEMS的特点就是小(1-100微米),非常小,比头发丝还小(70微米)。


MEMS的原理:把机械臂与电磁感应圈做成一个吸引电级系统,通电后,电磁像磁铁一样把悬臂吸引过来,和传输线连上,这是开;断电后,磁性消失,悬臂与传输线断开,这是关。

MEMS的应用:MEMS在我们生产,甚至生活中早已无处不在了,智能手机,健身手环、打印机、汽车、无人机以及VR/AR头戴式设备,部分早期和几乎所有近期电子产品都应用了MEMS器件。

MEMS在光通信行业的应用包括:MEMS VOA(可调光衰减器)、MEMS光开关、MEMS光透镜阵列、MEMS光可调滤波器等。




关键词:微机电系统

参考信息

https://mp.weixin.qq.com/s?src=11×tamp=1575191050&ver=2007&signature=6ESQQVe2oBdDlL-X*Xn54X0HWg4xDCtve6rYKMS3XjeDXq08EaynVStomH2LQagudpaW8Xz7IwgW3bTVt-R43PQmVtCJxqcxaA*qVTAs416SLxpR5Mmmr7urlszVJ1CN&new=1

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