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专访上海微系统所余明斌研究员:呼之欲出的中国硅光工艺平台


光纤在线编辑部  2018-07-24 16:56:35 本站采访报道 浏览次数:
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7/24/2018,光纤在线讯:见到余明斌老师,编辑最关心的问题就是上海的硅光工艺线什么时候能够启用?余老师的回答是年内就可以。目前大部分的设备招标采购工作已经完成,还有一批正在进行中。第一批采购的设备8月中旬就开始到货。这些设备只是上海微系统所的硅光工艺线所需的一部分设备。事实上去年年底,编辑曾经前往上海嘉定参观了余老师他们正在建设中的工艺线。当时除了部分前道工序,大部分后道工序的设备都已经到位。余老师说,基本上他们现在只要不涉及PN结的结构,他们都可以做,也就是大部分无源器件和调制器等结构都可以做。除了硬件设备,余老师他们还在集成工艺技术开发方面做了很多工作。他们的目标是在设备到位的情况下能够迅速形成流片能力。余老师告诉编辑,这条线是专门为硅光流片打造的,更具专业性,可以更好保障品质。从他以往工作的经验来看,流片客户最关心的无非是芯片质量和流片周期两个问题。上海硅光工艺线可以很好解决客户的担心。


CFOL配图:上海微系统所 余明斌


余老师说,上海硅光工艺线是一条90nm的工艺线,可以满足现在绝大多数硅光产品的流片需求。上海硅光工艺线的目标就是打造共性的技术平台,为客户开发硅光产品提供最大的方便。为此,他们打造了和国外类似平台同样标准的元器件库和工艺库,可以同样为客户提供MPW(多客户共用)和定制化的服务,而且他们还将不断丰富自己的工艺库和器件库。

余老师告诉编辑,他们上海硅光工艺线不仅拥有第一流的设备,而且他们的核心工艺技术人员在硅光领域拥有丰富的经验。可以相信,这条工艺线的建设,必将极大地促进中国硅光产业的发展。
编辑:Coco        

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