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海洋光学推出基于光学发射光谱法监测等离子体的光谱峰
	10/18/2023，光纤在线讯，海洋光学（OceanOptics）长期以来一直为半导体工艺设备供应商的新材料研究提供强大支持，同时协助用户克服等离子刻蚀、沉积、涂层和清洁等方面的困难和挑战。海洋光学的光谱仪，基于光学发射光谱技术，被广泛应用于等离子体监测，并在刻蚀终点检测方面表现出色。 实验...... 2023-10-18 11:24:56

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